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漯河椭圆偏振光谱仪

发表于:2020-1-13 23:34:35 来源:http://lh.chongshengyiqi.com/product508723.html

漯河椭圆偏振光谱仪

椭圆偏振光谱仪是一种无损无接触的光学测量技术,基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态的改变(强度和相位),通过模型拟合后获得各层厚度以及光学常数(n,k)。椭圆偏振光谱仪的光谱范围最宽可覆盖190 nm-2100 nm,可测厚度范围为几埃至几十微米。先进的光弹调制技术和微光斑可视技术可以精确选定待测区域,获得准确的测试结果。

椭圆偏振光谱仪的典型应用:半导体、光学镀膜、显示器、光伏材料及光电子材料等


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